案例說明

該廠因電力諧波問題需積極改善外，因此提高功率因素亦為該廠重點，而改善功率因素方式除高、中壓側進行安裝電容器外，該廠亦直接在負載側(機台端)安裝功率因素改善設備，有效且直接提高功率因素，有效改善虛功外，亦有效減少線損。

設計理念或改善流程

該廠改善之手法如下：

1.改善設備安裝最佳位置：

本廠針對電力系統之負載特性，於各個不同階層進行諧波改善分析與比較。一般而言，在設備端直接進行諧波與功率因素之改善效果最好，但是負載眾多或受限於現場空間因素而無法對每個設備直接進行改善工作，首先選擇負載較大或諧波影響較大之設備進行設備端改善工作，若是上游之公共匯流排之諧波或功率因素仍然不良時，再考慮於公共匯流排進行諧波與功率因素之改善，這種由下而上的改善方式除了效果顯著之外，亦可分散設備集中之風險，提高系統之可靠度與穩定度，設計理念參考下圖：

2. 用電量分析：

一般晶圓廠用電量較大者為製程機台設備，約佔50％，空調系統大約30%，水處理系統約佔耗量6%，

耗能圖參閱下圖：

3.品質分析：

上述提到因晶圓廠因製程機台因大量使用電子元件，故電力系統迴路極容易受設備產生之諧波影響電力品質(電力污染)，將針對晶圓廠機台諧波數值及分情形做一說明：