節省電力

285

(千度)

能源節約量

27

(公秉油當量/年)

減碳量

152

(公噸/年)

節省費用

629 仟元/年

投資金額

490 仟元/年

回收年限

0.8 年

案例說明

CVD EQ Load Lock Pump於排氣管增加節能裝置減低真空管壓力負荷,，減輕Dry Pump在排氣端之壓力、使PUMP Loading減低，可達到減壓省電。

設計理念或改善流程

EQ Dry Pump於製程中，正常運轉抽取時間一般僅在50%以下，剩餘時間多處於空轉狀態。在不影響製程情況下，若能減少Dry Pump空轉時壓力，即可降低電力的耗損。A廠商(ENTY)節能效益約為36%，B廠商(PSU-M2-Type)節能效益實測可達48%。
目前新式(C-Type)節能產生器(預估可比M2-Type再省20%)測試陸續安排中，將推廣應用至CVD T/C pump。安裝至CVD200~800，主機台L/L pump 14 ea.並進行電錶。