案例說明

該廠將廠內機台之Gas Box設計成相符的密閉工具及套件以達成Exhaust減量，及節省空調用電的效果。

設計理念或改善流程

該廠改善狀況如下：

1.對廠內機台Gas box密閉性作檢討，使用設計良好的工具，加強Gas Box的密閉性。

2.機台Gas Box進行密閉後，再作風門的調整。藉此減少風車運轉的耗能及無塵室

空氣供給量。

3.平均每個 Gas Box可節省15~20%的風量，共計有287 sets。

風量節省可達30,026 CMH，如下表：

4.示意圖說明：

當減少Gas box Exhaust風量時，亦可減少clean room MAU之送風量。同時減少exhaust fan與clean room MAU之耗電量，進而降低冰機及相關附屬設備的耗電。可有效降低整體耗電量。

5. 管塞氣密做法說明：

1)無gas tube通過→直接密封。

2)有gas tube通過 →管塞切割後密封。

3) Reduce about 15%~20%。