標竿案例
製程排氣減量及回收
47
製程排氣
減量
回收
節能
97年度
案例編號：97-PE-013　｜　行業別：電子零組件製造業　｜　技術別：製程設備(PE)
排氣風量
1,671
(CMM/年)
能源節約量
1,671
(公秉油當量/年)
減碳量
1,671
(公噸/年)
節省費用
5,180 仟元/年
投資金額
0 仟元/年
回收年限
0.0 年

案例說明

該廠依製程機台各排氣管道內之廢氣狀態，以進行一般排氣回收。

設計理念或改善流程

該廠經評估後，規劃將部分製程設備之排氣經過處理、過濾後，排放至無塵室subfab區域（如下圖），如此除減少無塵室MAU供應風量外，亦可降低製程一般排氣風機之處理風量。

 

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