製程設備機台DRM PM/LLM dry pump water flow saving
1398
DRM
LLM
PCW
109年度
案例編號：109-C04-108-PE10 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
7
(千度)
1
(公秉油當量/年)
4
(公噸/年)
17 仟元/年
1 仟元/年
0.0 年
案例說明
製程設備機台調整dry pump PCW flow
設計理念或改善流程
改善前：
調整前dry pump PCW flow為9L/min
改善後：
調整後dry pump PCW flow為3L/min 調整後dry pump PCW flow節省6L/min
