Green Pump Install AAxxxx TO ESRxxxx for F12B-ETC4 tools
2072
製程
綠能
製程冷凝水
108年度
案例編號：108-C01-107-PE08 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
27
(千度)
3
(公秉油當量/年)
12
(公噸/年)
63 仟元/年
12 仟元/年
0.2 年
案例說明
Green Pump Install AAxxxx TO ESRxxxx for Etch tools
設計理念或改善流程
F12B-ETC4 tools原使用耗能 Exxx pump AAxxxx，現在新裝機一律改用 Green pump ESRxxxx for energy saving。
