RDPC-DIF tools Epitaxial change to Furnace
1868
製程
外延
爐
108年度
案例編號：108-C01-107-PE05 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
1,276
(千度)
122
(公秉油當量/年)
680
(公噸/年)
2,939 仟元/年
37 仟元/年
0.0 年
案例說明
RDPC-DIF tools Epitaxial change to Furnace for energy saving。
設計理念或改善流程
Orignal Epitaxial change tool type to furnace COR。
