標竿案例
CAS turn off by local filter setup
384
CAS
local filter
105年度
案例編號:105-C01-104-UT04 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:公用設備(UT)
節省電力
651
(千度)
能源節約量
62
(公秉油當量/年)
減碳量
361
(公噸/年)
節省費用
1,628 仟元/年
投資金額
0 仟元/年
回收年限
0.0

案例說明

將Scanner tool由CAS供應變更由 AMC local filter供應,故可將CAS turn off。

設計理念或改善流程

CAS易受外氣變動及風車異常造成Scanner異常等問題。經由測試結果得知Scanner tool之ACC安裝AMC Local filter,其outlet TOC測值約4ppb,比CAS供應測值5~10ppb更好。所以將Scanner tool由CAS供應變更由AMC local filter供應,即關閉CAS*4台而達到Energy saving。

F12P6 CAS* 4 sets Turn-Off(單台CAS:18.59kW)之節能效益:
Total : 18.59(kW) * 4 sets = 74.36 kW
效益計算說明: 年節省電力:74.36(kW)x24(hr/日)x365(日/年) = 651.39 仟度/年 節省電費金額:651.39 (仟度/年) * 2.5 (元/度) = 1,627.07 仟元/年 抑制二氧化碳排放:651.39 * 0.521 = 339.38 公噸/年

 

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