案例說明
潔淨室採mini-environment設計,針對生產特定區域提供局部高潔淨度環境,如此可大幅降低潔淨室之初期投資成本及運轉成本。
設計理念或改善流程
環境一般區域以FFU(Fan Filter Unit)循環潔淨空氣以保持潔淨度Class100 / Class1000。而針對生產機台所需Class1等級則採用mini-environment的設計,僅提供局部高潔淨度的環境,即可滿足製程需求,可大幅降低潔淨室之投資運轉成本。
節能效益計算:
1. 採用 mini-environment 的設計:
FFU - 3300sets x 0.325 kW = 1072.5 kW
2.未採用mini-environment 設計:
FFU - 7590sets x 0.325 kW = 2466.75 kW
3.可節省電力: 2466.75kW – 1072.5kW = 1394.25 kW
效益計算說明:
年節省電力:1394.25(kW)x24(hr/日)x365(日/年) = 12,213.63 仟度/年
節省電費金額:12,213.63 (仟度/年) * 2.40 (元/度) = 29,328.88 仟元/年
抑制二氧化碳排放:12,213.63 * 0.521 = 6,363.30 公噸/年
潔淨室之基本架構:
1. 採FFU(Fan Filter Unit)循環潔淨空氣,以保持潔淨度Class100/Class1000。
2. 採用mini-environment 的設計,僅提供局部高潔淨度的環境,到達Class1等級,即可滿足製程需求,可大幅降低潔淨室之投資及運轉成本。
3. 未採用mini-environment設計的潔淨室,必須將潔淨室之生產區完全設計為Class1之潔淨室。
4. 現FAB12P6採項1及項2維持潔淨室之潔淨度