標竿案例
潔淨室mini environment節能設計
443
潔淨室
environment
105年度
案例編號:105-C01-102-UT01 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:公用設備(UT)
節省電力
12,214
(千度)
能源節約量
1,167
(公秉油當量/年)
減碳量
6,766
(公噸/年)
節省費用
29,313 仟元/年
投資金額
2,700 仟元/年
回收年限
0.1

案例說明

潔淨室採mini-environment設計,針對生產特定區域提供局部高潔淨度環境,如此可大幅降低潔淨室之初期投資成本及運轉成本。

設計理念或改善流程

環境一般區域以FFU(Fan Filter Unit)循環潔淨空氣以保持潔淨度Class100 / Class1000。而針對生產機台所需Class1等級則採用mini-environment的設計,僅提供局部高潔淨度的環境,即可滿足製程需求,可大幅降低潔淨室之投資運轉成本。

節能效益計算:
1. 採用 mini-environment 的設計:
FFU - 3300sets x 0.325 kW = 1072.5 kW
2.未採用mini-environment 設計:
FFU - 7590sets x 0.325 kW = 2466.75 kW
3.可節省電力: 2466.75kW – 1072.5kW = 1394.25 kW
效益計算說明:
年節省電力:1394.25(kW)x24(hr/日)x365(日/年) = 12,213.63 仟度/年
節省電費金額:12,213.63 (仟度/年) * 2.40 (元/度) = 29,328.88 仟元/年
抑制二氧化碳排放:12,213.63 * 0.521 = 6,363.30 公噸/年
潔淨室之基本架構:
1. 採FFU(Fan Filter Unit)循環潔淨空氣,以保持潔淨度Class100/Class1000。
2. 採用mini-environment 的設計,僅提供局部高潔淨度的環境,到達Class1等級,即可滿足製程需求,可大幅降低潔淨室之投資及運轉成本。
3. 未採用mini-environment設計的潔淨室,必須將潔淨室之生產區完全設計為Class1之潔淨室。
4. 現FAB12P6採項1及項2維持潔淨室之潔淨度

相關推薦案例-技術別
pic
無塵室最佳化運轉調整,降低正壓及...
pic
CDA熱回收至dryer
pic
空壓機系統改善
pic
無塵室Photo FFU 運轉節...
pic
空壓機系統按裝無耗氣卻水器
pic
空壓機效率提昇
pic
MAU 冷凝水回收再利用
pic
Dry Pump真空節能模組導入
pic
空調系統改善
pic
閥件取代無塵室DCC(乾式冷盤管...
pic
真空系統節能最佳化工程
pic
降低潔淨室外氣補給洩漏量節能改善
pic
降低潔淨室外氣補給洩漏量節能改善
pic
潔淨室mini-environm...
pic
FAB潔淨室照明節能調整
pic
潔淨室外氣供風溫度與室內管排溫度...
pic
照明設備-潔淨室照明燈具增設手動...
pic
5℃冰水主機設定溫度由5℃→5....
Top