L4A Nikon恆溫槽節能改造
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恆溫槽
曝光機
冷卻系統
110年度
案例編號：110-C03-109-PE08 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
7
(千度)
1
(公秉油當量/年)
4
(公噸/年)
16 仟元/年
12 仟元/年
0.0 年
案例說明
節省一個恆溫槽的用電量，藉以達到省電節能功效
設計理念或改善流程
曝光機PS的冷卻系統&MS的冷卻系統使用的恆溫槽為同一種type，將兩系統管路串接共用，將可節省一個恆溫槽的用電量
節能效益計算式:
每年可節電=(改前耗能0.85kWh-改後耗能0kWh)*8,736小時)=7,425.6kWh/年
每年可節費=7,425.6kWh*2.22元=16,484元
每年抑制二氧化碳排放量=7,425.6kWh*0.509 二氧化碳/kWh/1,000 =3.8公噸/年
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110-C03-109-PE08_L4A Nikon恆溫槽節能改造
