標竿案例
06-EO 晶圓雷刻機集塵製程優化
148
雷刻機
集塵機
113年度
案例編號：113-C01-113-PE03　｜　行業別：電子零組件製造業　｜　技術別：製程設備(PE)
節省電力
28
(千度)
能源節約量
3
(公秉油當量/年)
減碳量
14
(公噸/年)
節省費用
99 仟元/年
投資金額
0 仟元/年
回收年限
0.0 年

案例說明

1.EO 晶圓雷刻機台作業過程使用集塵機抽氣 ＜集塵機為標準配置附屬設備＞ 2.經盤查後同站點另一機型（OKANO DTB-1000） 已取消集塵機, 並改由廠務抽氣進行作業 3.故 Study 相同做法 : 改為廠務抽氣可達到節能需求

設計理念或改善流程

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