濕蝕刻製程機台溫控最佳化
28
製程
溫控
113年度
案例編號：113-C02-112-PE03 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
655
(千度)
63
(公秉油當量/年)
323
(公噸/年)
1,781 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
原機台設計Tank Heater加熱時Cooling會同時啟動作較精密的控溫，造成 Heater需消耗更多電力維持溫度。 後續修改Heater/Cooling 開啟時間，讓Heater啟動時Cooling不作動，待溫度 過高時再啟動，避免同時啟動造成能源消耗。
設計理念或改善流程
改善前：
修改PLC軟體，讓系統可設定溫度開啟Heater與Cooling的時間，避免 Heater/Cooling 同時啟動，減少Heater能源消耗。
改善後：
