案例說明
該廠基於Clean room 恆溫恆濕控制之考量，外氣空調箱需提供足夠的風量使室內維持相當的正壓，而 MAU 之出風溼度取決於室內之控制溼度, 在兼顧 Wafer良率及節能的前提之下, 將室內溼度控制值作些微調整, 可節省些許用電量，此改善措施可節省電量 108,169 kWh/年
設計理念或改善流程
該廠將某製程區控制溼度調高, 自 22 oC 43% 調到 22 oC 45%：
1)該區之供氣量為 140,000 CMH。
2)以質量守恆定律展開在 Steady state 的狀態約可節省110 MWh /年之電量，節省運轉成本166 仟元/年。
1)室內溼度自 43% & 溫度22oC
絕對溼度=7.1g/Kg dry air, 內部產生水氣=0.2 g/Kg dry air
MAUin(供氣溼度)必須為=6.9 g/Kg dry air,
6.9 g//Kg dry air & 100% RH 焓=25.885 Kj/Kg dry air
2006年平均外氣焓值為=64.3 Kj/Kg dry air
該區域供氣量=140,000 CMH
Air 平均密度為 1.2 Kg/m3
故(64.3-25.885)Kj/Kg´140,000 CMH´1.2 Kg/m3/3600/3.516=510RT
2)室內溼度自 45% & 溫度22oC
絕對溼度=7.4g/Kg dry air, 內部產生水氣=0.2 g/Kg dry air
MAUin(供氣溼度)必須為=7.2 g/Kg dry air,
7.2 g//Kg dry air & 100% RH 焓= Kj/Kg dry air
2006年平均外氣焓值為=64.3 Kj/Kg dry air
該區域供氣量=140,000 CMH
Air 平均密度為 1.2 Kg/m3
故(64.3-27.448)Kj/Kg´140,000 CMH´1.2 Kg/m3/3,600/3.516=489RT
3)FAB14 5 °C 運轉效率為 0.6 kW/RT
一年所節省之 Chiller 耗電量=(510RT-489RT)´0.6kW/RT´24´365=110,376 kWh
一年所節省之 Chiller 耗電量費=110,376 kWh´1.5=165,564元/年
減少1度電所抑制之 CO2 排放量為 0.67 Kg 故本 project 一年所抑制之 CO2 排放量為110,376 kWh´0.67/1000=74 公噸/年。
