案例說明

該廠在不影響無塵室內部氣流流場與穩定壓力的前提之下，將各區域之靜壓值由50~55 Pa降低至45~50 Pa，藉此減少MAU出口風量並將風車馬達運轉頻率降低，減少空調設備之用電量，以達到節能之目的。

設計理念或改善流程

該廠利用MAU VFD(變頻器)調整風車運轉頻率，將馬達轉速降低，減少無塵室內的OA(Outside Air)補氣量，以降低無塵室正壓，並可同時減少OA降溫除濕所須知冰水用量,節省冰機耗能，其改善狀況如下：

1)P1無塵室靜壓值約維持於50Pa。

2)Fab區MAU平均運轉頻率百分比約為58%。

(Total 12台，運轉12台，風量100,000CMH)。

3)Sup&Hpm區MAU平均運轉頻率百分比約為76.5%。

(Total 9台，運轉6台，風量140,000CMH)。

4)P2無塵室靜壓值約維持於55Pa。

5)Fab & Hpm區MAU平均運轉頻率百分比約為62.7%。

(Total 13台，運轉9台，風量140,000CMH)。

6)P1+P2調降壓力節能成效：

減少之風量共231,420 CMH；一年所節省耗電量6,760MWh/年。