案例說明

該廠在不影響無塵室內部氣流流場與穩定壓力的前提之下，將各區域之靜壓值由40~45 Pa降低至35~40 Pa，藉此減少MAU出口風量並將風車馬達運轉頻率降低，減少空調設備之用電量，以達到節能之目的。

設計理念或改善流程

該廠利用MAU VFD(變頻器)調整風車運轉頻率，將馬達轉速降低，減少無塵室內的OA(Outside Air)補氣量，以降低無塵室正壓，並可同時減少OA降溫除濕所須知冰水用量，節省冰機耗能，其改善後狀況如下：

1)P3無塵室靜壓值約維持於40Pa。

2)Fab區MAU平均運轉頻率百分比約為81%。

(Total 20台，運轉20台，風量140000CMH)。

3)P4無塵室靜壓值約維持於40Pa。

4)Fab&Hpm區MAU平均運轉頻率百分比約為45%。

(Total 20台，運轉15台，風量140,000CMH)。

5)P3+P4調降壓力節能成效：

減少之風量共266,000 CMH；一年所節省耗電量3,109MWh/年。

原理說明：

該廠藉由調整MAU VFD風車馬達轉速，減少MAU所供應之OA，降低無塵室內部壓力與冰水消耗量，此舉可同時減低MAU及冰機製冷所需消耗之電量。