部份製程以較低製造能耗的CDA，取代高製造能耗的氮氣
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製程
CDA
氮氣
99年度
案例編號：99-PE-047 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
2,895
(千度)
277
(公秉油當量/年)
1,604
(公噸/年)
6,514 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
該廠為節約能源進行以下措施： 1.部分製程用GN2氣源使用CDA取代。 2.因單位耗電量GN2＞CDA，故可節省耗電量。
設計理念或改善流程
1.該廠改善後(1)因考量Chamber破真空後玻璃面板亦直接接觸大氣，應可以CDA取代GN2功能；(2)於部分真空機台進行測試，觀察面板產品良率無影響後，所有同類型機台水平展開執行。
2.合計替代總用量15,400,000m3/年。
