製程機台機構散熱排氣減量
459
製程
散熱
節能
99年度
案例編號:99-PE-044 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:製程設備(PE)
節省電力
560
(千度)
能源節約量
54
(公秉油當量/年)
減碳量
310
(公噸/年)
節省費用
1,260 仟元/年
投資金額
0 仟元/年
回收年限
0.0 年
案例說明
該廠將原本製程機台申請用來做為機構散熱用的一般排氣,檢討取消使用,或者是改回收於無塵室內,減少MAU補氣所消耗的冰熱水能源。
設計理念或改善流程
該廠改善後狀況:
1.製程機台申請許多一般排氣使用於其設備機構的散熱之用,如下圖:
2.因其符合對人員無害,且不會影響無塵室濕度(僅顯熱熱源),因此可將其直接變更為自然通風,或者是設置小型電盤風扇執行散熱即可。
3.熱源直接由無塵室的乾盤管(Dry Coil)處理,其成本較由排氣抽出後,再以外氣空調箱(MAU)補氣來的便宜約50% (因外氣處理須包括除濕、且處理前溫度較高)。
4.減少排氣風量共計117CMM, 減少外氣空調箱供氣無塵室風量為117CMM。
5.合計取消或減量的一般排氣量280cmh,減少能源560,000kWh/年。