案例說明
透過Benchmark現有C/R設計理念，檢討本廠設計，在不影響C/R潔淨度的情況下，適度的降低FFU運轉台數達到節能目的。 (指導單位:台北科技大學能源與冷凍空調工程系胡石政教授)
設計理念或改善流程
1.說明:本廠早期設計黃光區FFU為100% Coverage，且為100%洞板高架地板。經Benchmark對於大環境的particle要求以非過往概念，而是針對主機台與機台本身+FOUP防護有鑑於此，本廠黃光區FFU確實有調整運轉的空間，本廠經由QC & Photo討論下。決議在不更動現有黃光運轉base line下，將100%調整運轉下降為67%，且參考北科大的建議，若C/R配置上！高架洞板的數量若往上提升。對於C/R循環帶走Particle的能力可提高。換句話說，可以減少FFU數量。
2.調降依據: 參閱台北科技大學能源與冷凍空調工程系胡石政教授--- “非單向流型潔淨室空氣置換量與室內氣懸微粒濃度特性分析及節能技術探討” 及中華潔淨技術協會潔淨科技文獻。
3.評估作業: 在北科針對無塵室FFU覆蓋率&高架地板開口率& Particle控制能力之間的關析研究中指出，提高高架地板孔板覆蓋率，可降低FFU運轉台數，並對於Particle控制能力無明顯下降；根據以上論點，提出節能計畫，將黃光區循環次數由300次/h降至200次/h，FFU cover rate 由100%降至67%。
4.執行作法: 採用兩階段調整，並隨時收集溫/溼度、Particle、AMC、靜電消除等資料，確定無影響下將FFU 關閉，本廠採用兩階段調整，並隨時收集溫/溼度、Particle、AMC、靜電消除等資料，確定無影響下將FFU 關閉。
5.共執行105台FFU 關閉，關閉後進行相關數據驗證均符合要求。
