F12B-ETC1 FCxxxx QDR slow leak flow rate reduction
2009
製程
洩漏
108年度
案例編號：108-C01-106-PE25 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
257
(千度)
25
(公秉油當量/年)
142
(公噸/年)
580 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
F12B-ETC1 FCxxxx QDR slow leak flow rate reduction
設計理念或改善流程
Tank slow leak flow reduction ( ~50% saving for QDR/ONB tank )
Idle flow 8L/min adjust to 3.5L/min 。
F12B P7 has 13 tools，1 tool has 3 tanks，total 39 tanks。
