F12B-DIF2 Implant tools green pump project
2023
製程
綠能
製程冷凝水
108年度
案例編號：108-C01-107-PE27 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
439
(千度)
42
(公秉油當量/年)
234
(公噸/年)
1,011 仟元/年
27 仟元/年
0.0 年
案例說明
F12B-DIF2 Implant tools green pump project。
設計理念或改善流程
F12B-DIF2 Implant tools green pump project:
iQxxx 為舊型dry pump，全部機台(13台)耗電683280kW/Year ，採用Green pump後，Implant-1機台(11台)耗電 201,392.4 kW/Year，Impant-2(2台)機台耗電43,204.325 Kw/year，節省電力為438,683.275 Kw/year。
