案例說明

該廠為節省彩色濾光片(Color Filter)製程BM Line光阻液使用量，進行參數設定、管理面改善及製程改善等措施，並訂定減少BM Line光阻液使用量，平均每片玻璃耗用量減少10%以上之目標。

設計理念或改善流程

該廠改善之方法如下：

1)為達節省光阻液耗用及不明之浪費從下列三方向著手：

A、參數設定：

(a)機台原始參數設定不佳---重新調整。

(b)光阻液儲槽排氣參數設定不佳---定時排氣減少空氣進入管線機會。

B、管理面改善：

光阻液桶殘留光阻未回收再利用，原設定剩4kg作tank切換，並將剩餘光阻

液排棄---改善後剩下的光阻要倒到新桶中再利用。

C、製程改善：

(a)每批次Purge量不一：驗證更換批次最佳Purge量，人員作業模式標

準化。

(b)每日保養Purge量不固定：標準化人員每日保養時之Purge量。

(c)膜厚異常時Purge量不固定（常因工程師指示不同,有不同purge量.）：

驗證最佳Purge量及人員手法標準化。

2)真因分析驗證流程：

節省光阻液耗用量及不明浪費真因分析及驗證流程示意圖(如下圖)。

3)改善前後每片玻璃平均光阻液耗用量由35ml/sheet降至29ml/sheet，平均每片玻璃耗用量減少17%以上，超出原先目標設定。