09-設備離子裝置(離子Bar & 離子槍) CDA 減量
10
調控
離子槍
管理
113年度
案例編號:113-C01-113-PE04 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:製程設備(PE)
194
(千度)
19
(公秉油當量/年)
96
(公噸/年)
680 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
1.設備內離子裝置 CDA 流量未定義, 符合離子消散能力 即可; 平均離子裝置 CDA 流量約 20LPM。 2.調整設備內離子裝置 CDA 流量(20LPM 15LPM], 確認符合離子消散能力規格。
設計理念或改善流程