F12B-ETC4 Tools Green Pump Install Axxxx to Exxxx
1960
製程
綠能
製程冷凝水
108年度
案例編號：108-C01-107-PE09 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
610
(千度)
58
(公秉油當量/年)
325
(公噸/年)
1,406 仟元/年
12 仟元/年
0.0 年
案例說明
Green Pump Install Axxxx to Exxxx for Etch tools for energy saving。
設計理念或改善流程
Green Pump project:Exxx Exxxx 取代Axxxx for energy saving。
