案例說明

該廠基於安全因素設有排氣系統將製程廢氣收集及處理，排氣特性為高流量低濃度，排氣設備耗電量相當大，且為維持無塵室潔淨度必須補充新鮮空氣至無塵室，排氣過量使用則為浪費，因此提出酸排氣排氣壓力昇壓以符合機台運轉計畫。

設計理念或改善流程

該廠改善狀況如下：

改善流程：

1.此項改善計劃基本上為不用投資任何金額。

2.專人負責召開專案會議，並邀請各部門人員參加。

3.機台使用排氣風管者數百支，逐一進行排氣風量調整曠日費時，且排氣風門為蝶片式用於調整風量不洽當，採用排氣系統供應壓力提昇進行減量。

4.排氣壓力調昇方法：

A.邀請設備部門專人參加，並說明作法。

B.調昇目標為 -80mmAq (原設定 -90mmAq)，實際測試至 -78mmAq。

C.調昇過程禁止現場風門調整及開關。

D.每次調昇 2mmAq，持續 48小時，觀察設備運轉狀況。

E.調整過程部份機台假設排氣壓力不足，則加大風門開度。

F.排氣壓力在加大風門開度後，仍不足者則加裝現場增壓風車。

5.整個排氣壓力昇壓過程，整體測試至 -78mmAq，除少數機台進行風門調大動作，大部份機台運轉無問題，符合預期，排氣壓力運轉為 Over Design。

階段調整後靜壓與排氣量的變化：