案例說明

該廠依據製程機台各排氣之廢氣特性(氣體成分、Particle數量、溫度、濕度等)，採集後進行檢驗測試，確認不影響人體及無塵室，進行回收，減少無塵室外氣空調箱正壓空氣供應量，以達節能之效。

設計理念或改善流程

該廠改善狀況如下：

1.該廠運轉初期，就先針對製程設備之一般排氣進行回收評估，其評估將部分對人體無害且溫度、溼度符合無塵室環境標準之一般排氣，經過濾處理後，排放至無塵室subfab（如附圖），以減少MAU外氣補充量。

2.機台運轉期間，採集各機台排放之廢氣，進行化驗分析，以確認是否符合回收標準。

3.經化驗分析後，該廠針對製程烘烤機台(Oven)、Vacuum Pump&控制器散熱之一般排氣進行回收。