案例說明

該廠將原本製程機台申請用來做為機構散熱用的一般排氣，檢討取消使用，或者是改回收於無塵室內，減少MAU補氣所消耗的冰熱水能源。

設計理念或改善流程

該廠改善後狀況：

1.製程機台申請許多一般排氣使用於其設備機構的散熱之用，如下圖：

2.因其符合對人員無害，且不會影響無塵室濕度(僅顯熱熱源)，因此可將其直接變更為自然通風，或者是設置小型電盤風扇執行散熱即可。

3.熱源直接由無塵室的乾盤管(Dry Coil)處理，其成本較由排氣抽出後，再以外氣空調箱(MAU)補氣來的便宜約50% (因外氣處理須包括除濕、且處理前溫度較高)。

4.減少排氣風量共計117CMM, 減少外氣空調箱供氣無塵室風量為117CMM。

5.合計取消或減量的一般排氣量280cmh，減少能源560,000kWh/年。