案例說明
該廠於不影響生產狀況下，分三階段進行以下之節能措施，將運轉操作值調整至最低限度或停機，以節省電能。 1. 配合R2 Phase0機台Move-In，FFU原運轉297台，停止運轉176台。 2. 配合R2 Phase0機台Move-In，MAU 403由原運轉27HZ台，降載至20HZ。 3. 配合R2 Phase0機台Move-In，DCC運轉台數由原運轉7台，關閉3台。 4. Exhaust風量降低及效益說明。 5. SNG VMB SOX減量100~50%-->6次/小時換氣量。 6. Dry coil pump關閉節能。 7. 調整黃光區MAU風門，減少風管背壓，降低MAU運轉頻率。 8. 非夏季時段降低MAU第1段冷排出風溫度由16℃調降至14℃。
設計理念或改善流程
該廠改善方式如下：
98年(第一階段)
1. 配合R2 Phase0機台Move-In，FFU原運轉297台，停止運轉176台。
1.1因未MOVE IN機台延後，僅保留最低環境循環需求用量，以維持無塵室潔淨度。
2. 配合R2 Phase0機台Move-In，MAU 403由原運轉27HZ/台，降載至20HZ。
2.1因Move in延後，外氣僅供應維持基本正壓需求，MAU(外氣空調箱)最低運轉頻率由60 → 20Hz →OFF，以節省電力。
2.2實施時間：
第一階段：98/02/21~98/05/23共92天，調降至20Hz
電力節省：108*-108*(20/60)^3= 104 KW
第二階段：98/05/24~98/12/31 共192天，MAU OFF利用旁邊相鄰無塵室
洩漏量維持正壓，同時管制該區禁止人員進入。
電力節省：Fan 108KW+Air Washer 22KW= 130 KW
3. 配合R2 Phase0機台Move-In，DCC運轉台數由原運轉7台，關閉3台。
3.1因Move in延後，環境無機台熱負載需求，將乾盤管循環PUMP局部關閉，以節省電力。
3.2實施時間：
第一階段：98/04/01~98/05/23共53天，關閉3台共8.9KW。
第二階段：98/05/24~98/9/25 共125天，7台全關共20KW。
4. Exhaust風量降低及效益說明。
4.1 製程設備排氣節能：調降機台Exhaust抽氣量，以達節能目的(調降Fab 機台或環境排氣量，可減少MAU/排氣之供應風量，進而降低電力需求)。
4.1.1 依設備機台數據與設備討論有無調降空間，確認調降數據後進行調降作業。
4.1.2 相同機型調整以一台進行測試，調整方式採逐步微調方式調整無異狀後相同機型再進行全面調整。
4.2 調降HPM區/Non Fab區氣體化學房機台,設備機台及環境排氣量，可減少MAU/排氣 之供應風量以達節能目的。
99年(第二階段)
5. SNG VMB SOX減量100~50%-->6次/小時換氣量。
5.1依據FM 7-7損害防阻規範提到氣瓶櫃應長時間抽氣，滿足6次/小時換氣量，排氣系統24小時監控，保持閥箱內負壓狀態，故將閥箱內排氣閥關小，減少SOX排氣使用量，以達節能之目的。
6. Dry coil pump關閉節能。
6.1因應目前9℃冰水出水溫度已調高至10.5℃，已高於無塵室露點溫度9.8℃(盤管不會結露)，故可將Dry Coil Pump關閉節能。
100年(第三階段)
7. 調整黃光區MAU風門，減少風管背壓，降低MAU運轉頻率。
7.1因建廠時，為使黃光區一二期、南北側進風量一致，二期南側風門開度較小；目前無塵室內熱負載皆很高，將風門全開，二期南側進風量增加，不會造成室內溫度過低。(整體風量不變)
7.2將二期南側風門全開，風量增加(Dry coil開度會變小)，其他區風量減少(Dry coil閥開度增加)，觀察無塵室溫度仍可穩定。
7.3 MAU 因風管背壓變小，變頻器頻率由65Hz降為53Hz，圖控上二次側電流明顯減小；實際量測一次側電流差異，即可算出節能效益。
8. 非夏季時段降低MAU第1段冷排出風溫度由16℃調降至14℃。
8.1 因5℃冰水相較於9℃冰水，單位冷凍噸成本較高。
8.2 非夏季時，由於9℃冰水用量負載較低，所以可將 MAU 第一段冷盤出風設定溫度調低二度，將5℃的部份負載轉移至9℃扛載。
8.3 依MAU之總風量，再計算焓差，即可算出節能效益。
8.4 實際執行時，僅需於夏季7月份到達時，當9℃冰機RT大於13,000RT時，再將溫度調整回16℃即可，於9月底時， 9℃冰機RT小於13,000RT，即可調降二度為14℃。
