標竿案例
90-K5-9F VM站氣體節能改善
32
製程
溫度
113年度
案例編號：113-C01-112-PE19　｜　行業別：電子零組件製造業　｜　技術別：製程設備(PE)
節省電力
319
(千度)
能源節約量
30
(公秉油當量/年)
減碳量
157
(公噸/年)
節省費用
983 仟元/年
投資金額
245 仟元/年
回收年限
0.2 年

案例說明

原機台使用AIR轉真空系統使用CDA供應耗電量較大，修改管路改為VAC直接供應耗電量較少，以利達到節能效益

設計理念或改善流程

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