標竿案例
10-晶圓切割清洗用水節能優化作法
21
調控
晶圓切割
製程
113年度
案例編號：113-C01-113-PE05　｜　行業別：電子零組件製造業　｜　技術別：製程設備(PE)
節省電力
2
(千度)
能源節約量
0
(公秉油當量/年)
減碳量
1
(公噸/年)
節省費用
5 仟元/年
投資金額
0 仟元/年
回收年限
0.0 年

案例說明

1.不影響晶圓品質條件, 降低晶圓切割清洗時間 150s  110s 2.同時可滿足 UPH 提昇及節水效益

設計理念或改善流程

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