標竿案例
CF Cleaner RB IN 風刀節能
35
調控
參數調整
113年度
案例編號：113-C02-112-PE06　｜　行業別：電子零組件製造業　｜　技術別：製程設備(PE)
節省電力
316
(千度)
能源節約量
30
(公秉油當量/年)
減碳量
156
(公噸/年)
節省費用
859 仟元/年
投資金額
0 仟元/年
回收年限
0.0 年

案例說明

不影響良率狀況下將製程機台CF Cleaner Air Curtain CDA用氣量降低

設計理念或改善流程

評估FCICLN40 RB IN A/C擋水功能與經過測試，確認DIW無流往乾段疑慮
驗證AOI點數,確認不影響產品良率經評估OK後，進行CDA關閉。
 

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