節省電力

59

(千度)

能源節約量

6

(公秉油當量/年)

減碳量

30

(公噸/年)

節省費用

130 仟元/年

投資金額

0 仟元/年

回收年限

0.0 年

案例說明

A2ST設備減少 Rinse.A噴灑範圍，以降低DI Water能耗

設計理念或改善流程

Stripper設備的Rinse.A主要以DI Water清洗玻璃從Stripper槽帶過來去光阻液，Rinse.A槽內有8排噴灑管路，每排4顆噴嘴，共32顆噴嘴。
因最後一排管路的噴灑範圍，未在Rinse.A的玻璃洗清搖擺範圍內，所以研擬將最後一排管路的4顆噴嘴移除，以達省水之目的
節能效益計算式:
1年節能效益=(改善前流量-改善後流量 ）× Min / 1,000 ×轉換因子 ×天數
58,743.63 (kWh)=(79 -74）L/min× (9147片數× 30秒 /60) / 1,000 × 7.038 x 365
每年抑制二氧化碳排放量=58,744kWh*0.509二氧化碳/kWh/1,000 =29.901公噸/年


110-C03-110-PE25_ LL pump安裝節能產生器減少背壓