節省彩色濾光片(Color Filter)製程BM Line光阻液使用量
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彩色濾光片
光阻液
節能
95年度
案例編號:95-PE-007 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:製程設備(PE)
顯影液
3,600
( L/年)
能源節約量
3,600
(公秉油當量/年)
減碳量
3,600
(公噸/年)
節省費用
14,040 仟元/年
投資金額
0 仟元/年
回收年限
0.0 年
案例說明
該廠為節省彩色濾光片(Color Filter)製程BM Line光阻液使用量,進行參數設定、管理面改善及製程改善等措施,並訂定減少BM Line光阻液使用量,平均每片玻璃耗用量減少10%以上之目標。
設計理念或改善流程
該廠改善之方法如下:
1)為達節省光阻液耗用及不明之浪費從下列三方向著手:
A、參數設定:
(a)機台原始參數設定不佳---重新調整。
(b)光阻液儲槽排氣參數設定不佳---定時排氣減少空氣進入管線機會。
B、管理面改善:
光阻液桶殘留光阻未回收再利用,原設定剩4kg作tank切換,並將剩餘光阻
液排棄---改善後剩下的光阻要倒到新桶中再利用。
C、製程改善:
(a)每批次Purge量不一:驗證更換批次最佳Purge量,人員作業模式標
準化。
(b)每日保養Purge量不固定:標準化人員每日保養時之Purge量。
(c)膜厚異常時Purge量不固定(常因工程師指示不同,有不同purge量.):
驗證最佳Purge量及人員手法標準化。
2)真因分析驗證流程:
節省光阻液耗用量及不明浪費真因分析及驗證流程示意圖(如下圖)。
3)改善前後每片玻璃平均光阻液耗用量由35ml/sheet降至29ml/sheet,平均每片玻璃耗用量減少17%以上,超出原先目標設定。