乾燥泵浦加裝真空節能器
488
烤箱
保溫材
節電
111年度
案例編號：111-C02-110-PE01 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
569
(千度)
54
(公秉油當量/年)
286
(公噸/年)
1,257 仟元/年
2,865 仟元/年
2.3 年
案例說明
於Dry 泵浦排氣出口端加裝真空節能器，使pump扭力降低，減輕在排氣端之壓力，進而減少電力損耗。
設計理念或改善流程
1.統計廠內Dry pump數量，合計共141台。
2.各部門發包請購真空節能器進行安裝及CDA管線配置。
3.依據各pump型號，以同型號pump量測1台為基準。
4.於安裝前後架設電力品質分析儀(HIOKI3196)量測耗電量。
5.再輔以廠內建置之機台用電管理系統(iEMS)撈取用電量驗證節能成效。
1.因泵浦型號與應用場域不同，節能率約落在8.5~45%。依據各部門各Chamber量測計算安裝前後耗電量，數量141台。
2.節省電力：
(1)Dry泵浦節電量為 1,012,367 kWh/年
(2)CDA使用風量為50LPM*0.06=3CMH/台，2021年平均能耗0.1196 kWh/M
3
年用電量為3CMH*0.1196 kWh/M3*141台*24 Hr*365天=443,163 kWh/年
合計年節省電力為1,012,367 kWh/年- 443,163 kWh/年=569,204 kWh/年
3.節省費用：569,204kWh/年*2.21元=1,257,941元/年
4.投資成本:
安裝節能器+CDA拉管費用+CDA年使用量=2,864,804元/年
其中CDA年使用量計算(CDA調整最佳用量50LPM*0.06=3 CMH)
為3 CMH*0.276元/M
3
*24Hr*365天=7,253元/台5.能源效益:569.204*0.0956=54.4公秉油當量/年
6.節省二氧化碳排放量:569.204 *0.502=285.7公噸/年
7.回收年限:2,864.8/1,257=2.28年
