節省電力

604

(千度)

能源節約量

58

(公秉油當量/年)

減碳量

335

(公噸/年)

節省費用

1,620 仟元/年

投資金額

0 仟元/年

回收年限

0.0 年

案例說明

雞蛋裏挑骨頭,在符合安全的規範下,將F12P6 EPi tool exhaust 最佳化調整。

設計理念或改善流程

減量目標: 均與製程Chamber無關
1.稀釋風機減量：該風機設定為 2,225 CMH/set，改為1,010 CMH/set；Situation: 1/10 LEL1/4 LEL，符合SEMI安全要求。
2.氣體供應箱減量：EPI/SiCoNi氣體供應箱設定為 3,341/554 CMH，改為
360/120 CMH；Situation: 符合SEMI-S6 7.6.1.1要求。

實際調整後改善狀況：
Dual EPi main tool exhaust 7693 CMH, reduced 1500CMH/set
Dual Epi LSC exhaust 4059 CMH, reduced 900CMH/set
Epi tool Total exhaust reduction 2400CMH/set, reduction rate 20.4%(2400/11752)
共調整 7台 Dual EPi
每年可省之電量= 7x0.0041(kW/CMH)x2400(CMH)x(24(hr/日)x365(日/年)
= 604,440 kWh /年
每年總節省金額：604,440 (kWH/年)× 2.68元/kWh＝1,617.14 仟元/年
抑制二氧化碳排放：604,440 * 0.521 = 314.91 公噸 /年