無塵室貨梯升降管道間取消以排氣建立負壓
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外氣空調箱(MAU)
無塵室
負壓
98年度
案例編號：98-AC-007 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：空調系統(AC)
2,211
(千度)
33
(公秉油當量/年)
194
(公噸/年)
4,113 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
無塵室Lifter原規劃頂端設置MAU供氣口，底端設計銜接Exhaust，以建立Lifter內部負壓，變更為利用Truss抽氣建立負壓。
設計理念或改善流程
1. 由於Lifter穿越三個樓層無塵室，即有三個Truss區。
2. 利用Truss區建立Lifter內部負壓環境，取消原MAU及Exhaust規劃。
3. 經驗證後其環境等級符合製程規範。
