減少熱排氣系統排氣量計劃
355
熱排氣
無塵室
節能
94年度
案例編號：94-UT-029 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：公用設備(UT)
210
(CMM/年)
210
(公秉油當量/年)
210
(公噸/年)
6,622 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
該廠無塵室每1M3/min空氣都經過相當多處理程序耗費許多成本，因此減少不必要的熱排氣損耗，不僅可降低熱排風車耗能，亦可減少無塵室補充潔淨空氣。
設計理念或改善流程
該廠改善後，.配合CMP與蝕刻區與黃光區設備執行減廢專案，並定期回報執行進度及狀況，將30座生產設備附屬電氣機台之熱排氣關閉或調降風門，可節省風量210CMM。
