案例說明

節能產生器N2壓力調至最佳，使節電效益達到最大。

設計理念或改善流程

1.真空 Dry Pump 加裝真空節能產生器係為運用白努力原理, 在Pump 後端加一管路通入N2或CDA 用以加快氣體流速→降低管內壓力→真空牽引→降低Pump轉子作工能耗
2.依方程式: 調整節能產生氣N2壓力, 達到降低Pump 能耗目地
依方程式: N2壓力與Pump 電流值呈反比
DRY Etch L/L Pump 調整N2 壓力設定50→70psi 可得到最佳值, Pump 電流值可降低2.1A
節能效益計算式:
[(各台電流差值x電壓x1.732*0.85/1000 x每天時數)-N2每天耗電量] x每年天數x台數
[2.1A*220V*1.732*0.85/1000*24h-4.36kWh(N2耗電量)]*365天*40台= 184,219 kWh
抑制二氧化碳排放量=184,219 kWh*0.509 Kg二氧化碳/kWh /1,000=93.767 公噸/年

110-C03-110-PE02_ chiller pump更換為省電pump。