案例說明

廠區UPW(超純水)供應系統由5A UPW切至5B UPW供應無塵室生產機台生產需求，為達到節能要求，執行最小流量運轉策略，將 5A UPW system 由全量轉小量允轉措施，以達到節能之目的，運轉模式分成兩階段進行，分別為5A UPW 前段減量運轉及前中段減量運轉

設計理念或改善流程

對於未供應生產之系統節能最佳方式為停機節能，但考量未來ANPM期間5B UPW停機時修繕，屆時廠內部份重點機台仍有UPW用水需求(例如PHA06)，故評估5A UPW System維持以下方式進行節能之運轉模式:
第一階段: 5A UPW 前段減量運轉 (2015/3/18 執行)進行低負荷運轉模式:降低耗電量每小時45.4KW
1.將UF濃縮水回mixing流量調降最低減少前段起停機
2.降低Loop 3.4 循環pump壓力由4.5->2.8kg/cm2
3.MMF不產水(停機)缺水量由5B UPW 儀器回水補充UPT
4.RO conc 不排到TK213&Rec-1 只回Mixing 減少失水
5.MGR&CAA不執行再生
第二階段: 5A UPW 前中段減量運轉(2015/3/20 執行) (接續第一階段)故進行以下節能措施: 降低耗電量每小時147.9KW
1.前段維持不變
2.中段每日24h運轉改為每日run 1小時維持桶槽補水液位
3.關閉 UV lamp(每組3.32KW)共6組