案例說明

該廠基於安全因素設有排氣系統將製程廢氣收集及處理，排氣特性為高流量低濃度，排氣設備耗電量相當大，且為維持無塵室潔淨度必須補充新鮮空氣至無塵室，排氣如屬不須要則為浪費，因此提出排氣合理化減量計畫，進行以下之改善措施： 1.維修風管風門止漏…………………………………………(措施一) 2.黃光製程設備溫度控制器(TCU)熱排氣取消.……………(措施二) 3.擴散及薄膜製程真空 Pump (Dry Pump) 熱排氣取消…(措施三)

設計理念或改善流程

該廠改善狀況如下：

改善流程：

1. 此項改善計劃基本上為不用投資任何金額。

2. 專人負責召開專案會議，並邀請各部門人員參加。

3. 各製程專人負責清點設備排氣是否真的必要，風管合理化實際調查結果共有四類型有改善空間：

A. 維修風管風門止漏：
生產設備有安裝維修風管用於保養設備，平日完全無使用，便於風管操作設有風門，歷經多年使用有洩漏狀況，相形之下為浪費。

B. 黃光製程設備溫度控制器(TCU)熱排氣取消：
溫度控制器原廠散熱設計採用熱排氣風管進行熱量散除，無塵室內為恆溫控制在22.5℃，控制器溫度並不高，且廢熱無任何危害人體成份，擬將熱排氣風管取消，採自然通風降低控制器溫度，經實際測試此方法可行不會影響運轉。

C. 擴散及薄膜製程真空 Pump (Dry Pump) 熱排氣取消：
Dry Pump 同樣採用排氣風管將廢熱帶離無塵室，其它狀況同黃光溫度控制器，同樣進行廢除工作。

4. 判定排氣須求性進行工程改善，將風管繞性軟管拆除，並進行盲封即可達到排氣減量目地。