節省電力

41

(千度)

能源節約量

4

(公秉油當量/年)

減碳量

21

(公噸/年)

節省費用

91 仟元/年

投資金額

0 仟元/年

回收年限

0.0 年

案例說明

SPT700 ITO製程,成膜時間降低（Depo Rate不同）

設計理念或改善流程

舊式ITO 為AC Power系統,預改造成DC Power系統提升產能(預將AC Power改造為DC Power系統提升成膜速率 )  

改善後
因depo rate較快(製程特性)
AC POWER  9kW (sputter time:42sec)及6組POWER
DC POWER  8kW (sputter time:19sec)及12組POWER
(9kW*6SETS*42SEC)-(8kW*12SETS*12SEC)=(2268-1824)/3600=0.123kW/HR(單片)
產能28K故 28000*0.123=3444kW/HR(月)
年節省:3444*12=41,328kW/h(年)
每年可節費=41,328kWh*2.2元=90,922元/年                
抑制CO2排放量=41,328kWh*0.509 CO2/kWh=21噸/年