MTB PWF 製程設備 排氣減量
194
調控
112年度
案例編號：112-C03-112-PE09 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
362
(千度)
35
(公秉油當量/年)
184
(公噸/年)
0 仟元/年
5 仟元/年
0.0 年
案例說明
調整製程設備的排氣量，在不影響產品的情況下以最低的風量運行製程，達到節省排氣系統與外氣空調箱運行的能源消耗
設計理念或改善流程
|
Module |
風速(m/s) Before-After |
風管截面積(m2) |
單位能耗(KWH/m3) |
Exhaust count |
Saving |
|
| Tools 1 |
Coat/ cabinet |
21.63 | 0.00785 | 0.00518 |
4 |
110948.781 |
|
Bond / Bake |
24.75 |
0.00785 |
0.00518 |
4 |
126952.488 | |
| Tools 2 |
Debond |
23.1 |
0.00785 |
0.00518 |
1 | 29622.2473 |
|
Pump |
7.4 |
0.00785 |
0.00518 |
4 | 37957.5117 | |
| Tools 3 |
Laser module |
20.1 |
0.00785 |
0.00518 |
1 | 25775.2022 |
|
Clean module |
12.04 |
0.00785 |
0.00518 |
2 |
30878.9487 |
=110,948.78+126,952.48+29,622.24+37,957.51+25,775.2+30,878.9487=362,135 kWh/y
