GED2 VAS DRY PUMP運轉數量減半
1907
製程
抽水機
108年度
案例編號：108-C05-107-PE02 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
666
(千度)
64
(公秉油當量/年)
355
(公噸/年)
1,470 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
原使用4顆DRY PUMP 進行製程，改為2顆DRY PUMP 製程，整體節電50%。
設計理念或改善流程
GED2 Chamber內容積550L係較舊線880L小，原分配4台Dry Pump抽一個CHAMBER，經評估及良率驗證後改為2台Pump。
