標竿案例
CVD DMS cleaner AK idle mode
940
CVD
DMS
109年度
案例編號：109-C03-108-PE09　｜　行業別：電子零組件製造業　｜　技術別：製程設備(PE)
節省電力
160
(千度)
能源節約量
15
(公秉油當量/年)
減碳量
81
(公噸/年)
節省費用
309 仟元/年
投資金額
36 仟元/年
回收年限
0.0 年

案例說明

CVD DMS cleaner AK idle mode

設計理念或改善流程

109-C03-109-PE01-01 Cleaer AK - CDA減量計畫

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