案例說明

該廠為OAC系統節能進行以下之節能措施： 1.外氣空調箱OAC-14 MOTOR PULLEY改小，OAC-14 供應風量調降。 2.將空調箱AH-7,9改為單台運轉。 3.將空調箱AH-30,31風量調小。

設計理念或改善流程

該廠OAC系統之改善方式如下：

1.改善理念:OAC-14風車無變頻器及室壓自動控制的設計，風車為全量運轉,以風量開關調整供應風量，風車運轉耗能效率低；以最經濟方式將風車馬達滑輪( PULLEY)改小，降低運轉電流,同時OAC-14 供應風量獲得有效調降,維持無塵室合理的正壓量(將無塵室室壓由3.5 mmAq 調降至0.7±0.5mmAq)。

2.擴廠之初，考量日後產能擴充及設計之安全係數的因素，勢必會有無塵室的外氣供應量、無塵室循環風量、無塵室換氣次數均必定有OVER DESIGN情形。所以，無塵室的外氣量、循環風量均有不小的節省空間，但節能的同時須注意無塵室換氣次數及無塵室Particle狀況的維持，以避免減量過多影響無塵室生產。

3.此節能措施的困難度就是在無塵室的外氣供應量、無塵室循環風量、無塵室換氣次數、無塵室Particle等控制參數和無塵室flow pattern流場方向性及均勻度、溫溼度亦有相當程度之關聯性。故此節能措施之困難度與複雜度相當於將許許多多的控制參數逐一調整檢視同時又必須在無塵室on line持續生產的同時完成上述各項改善措施。

4.本次影響相關之無塵室為R Tunnel 及U Tunnel，其潔淨等級均為CLASS 1000等級、0.3um≦1000ea。

5.OAC系統示意圖:

6.AH調整

7.OAC系統調整