Scanner機台不間斷排水(slow leak DIW)回收
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黃光
酸鹼廢水處理
回收
節能
101年度
案例編號：101-PE-008 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
案例說明
該廠黃光LIT機台Scanner中之CO2 Bubbler使用超純水(DIW)，並藉由不間斷排水(slow leak形成活水)(如圖一)來控制水中的阻值使其達到穩定。原本DIW是排至酸鹼廢水(AWD)處理，經由修改機台管路將DIW改排至DIR系統進行回收。
設計理念或改善流程
該廠改善狀況如下：
1)該廠將原本排至廢水之DIW(slow leak)改為排至DIR系統，如此可達到穩定機 台水質及增加廠務回收率(DIR)。
2)此類機台共21台，每台可節省水量依機台類型GROUP(如表一)又可分為 1.44CMD及11.5CMD。共可回收約43,800 噸/年(120 m3/天*365天/年)之水量(詳見下表)，總共可節省1,599 仟元/年 。
(1 m3=36.5元 saved= 1m3 city water 11.5元 + 1 m3 waste water treatment fee 25元)。
3)說明：
