案例說明

該廠將原本P3 GEX排放至戶外的廢氣回收，提供給HPM 區空調箱外氣的補氣，利用GEX回收較外氣低溫的空氣作為空調箱的補氣，可以減少空調箱冰水的耗量。

設計理念或改善流程

該廠之改善方式如下：

1.無塵室的GEX系統一般僅抽取生產機台的廢熱氣，平均溫濕度約27℃及40%，若直接

排出戶外，將造成能源浪費。

2.除了爐管及黃光製程因溫度較高且機台對exhaust 壓力變動較敏感外，其餘區域均規劃

作回收使用。

3.主要回收空氣目前使用在HPM(氣體/化學作業區)空調箱進氣，以取代外氣高溫高濕的

外氣 (圖一)。

4.GEX 風管空氣採樣分析，其成份均符合勞工作業環境空氣排放標準 (表一)。

5.GEX main head 風管加裝4 sets released damper 作為壓力調節用，可避免GEX系統壓力變化過大。

6.原理說明：