H10後工程洗淨機Water knife關閉
322
洗淨機
水刀
節能
100年度
案例編號：100-PE-052 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
21
(千度)
2
(公秉油當量/年)
12
(公噸/年)
41 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
該廠將後工程洗淨機Water knife，此裝置主要為阻擋洗淨機之water沿著移動之基板往前一個chamber流掉造成water無法回收循環使用，但實際觀察此water Knife開啟時並無法有效達到阻擋water流往前一個chamber，故將此裝置關閉，而關閉此裝置可達到節省CDA之浪費。
設計理念或改善流程
該廠改善狀況如下：
1)將五組Water knife by pass不使用。
2)關閉五組0.05MPa 每年可減少CDA：
3.6(Nm3)*5(組)*24(hr)*365(day)=157,680Nm3/年。
