Bottom VSB factor align to best for energy saving
935
VSB
FDC
109年度
案例編號：109-C04-108-PE07 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
438
(千度)
42
(公秉油當量/年)
223
(公噸/年)
1,095 仟元/年
1 仟元/年
1.0 年
案例說明
藉由調整機台VSB factor參數，使各chamber VSB 風壓 align to 現行合理的最低值，由FDC可撈出現行各Chamber 目前的VSB風壓狀況。
設計理念或改善流程
改善前：
機台VSBfactor參數調整前，量測VSBfactor 的電流為7.13A
改善後：
機台VSBfactor參數調整前，量測VSB factor 的電流為5.12A
