標竿案例
減少熱排氣系統排氣量計劃
335
熱排氣
無塵室
節能
94年度
案例編號：94-UT-029　｜　行業別：電子零組件製造業　｜　技術別：公用設備(UT)
風量
210
(CMM/年)
能源節約量
210
(公秉油當量/年)
減碳量
210
(公噸/年)
節省費用
6,622 仟元/年
投資金額
0 仟元/年
回收年限
0.0 年

案例說明

該廠無塵室每1M3/min空氣都經過相當多處理程序耗費許多成本，因此減少不必要的熱排氣損耗，不僅可降低熱排風車耗能，亦可減少無塵室補充潔淨空氣。

設計理念或改善流程

該廠改善後，.配合CMP與蝕刻區與黃光區設備執行減廢專案，並定期回報執行進度及狀況，將30座生產設備附屬電氣機台之熱排氣關閉或調降風門，可節省風量210CMM。

 

 

 

 

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