CVD機台保溫套改善節能
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管理，保養
CVD
113年度
案例編號：113-C02-112-PE01 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
838
(千度)
80
(公秉油當量/年)
414
(公噸/年)
2,279 仟元/年
6,771 仟元/年
3.0 年
案例說明
生產設備CVD chamber heater為高溫製程，盤點機台用電量大宗來自本體 SUSCEPTOR加熱(約佔據整體42.87%)，溫度不足時機台內SSR須持續加熱以 維持恆定高溫，但機台金屬本體保溫不足造成導熱溢散。 製作Chamber上方及側邊保溫套，緊密覆蓋於機台表面，降低熱溢散，SSR 作動加熱次數減少，降低用電。
設計理念或改善流程
